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金刚砂磨料动压浮起平面研磨工艺

  • 动压浮起平面研磨工艺
    动压浮起平面研磨是一种非接触研磨工艺,其工作原如图8-31所示。
    在研磨装置上装有带有平面和斜面的研磨圆盘,当它在油中旋转时,产生动压力,将上面保持架中的工件浮起(动压推力轴承工作原理),由油中微粒金刚砂磨料对工件进行研磨。研磨盘的浮力F为:F=6qULB2/h2 k2
    式中U-相对速度;
    q--流体黏度;
    L--研磨盘半径方向的分割长度;
    B--研磨盘面圆周方向的分割长度;
    h--研磨盘与工件间隙;
    K--形状系数,为k、a、B、h的系数。
    由于研磨盘从内圆端到外圆端斜面和平面分割宽度之比k是一定的。而在不同半径处的相对速度U不同,故浮力分布外圆端加工量大,内圆端加工量小,使工件得不到正确的平面精度。可调整形状系数K来调整压力分布,即调整倾斜角a及比率k,使它们从内圆向外圆连续变化。例如,使比率k从内圆端到外圆端从0.3至0.6连续变化,可获得均一的压力分布。
    动压浮动研磨主要用于超精密金刚砂研磨半导体基片、各种结晶体、玻璃基片。可多片同时加工。
    金刚砂动压浮起研磨工艺
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